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| 过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统 | |
| 引用本文： | 王广甫,张荟星,张孝吉.过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统[J].北京师范大学学报(自然科学版),2000,36(6):775-778. |
| 作者姓名： | 王广甫 张荟星 张孝吉 |
| 作者单位： | [1]北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室； [2]北京师范大学分析测 |
| 摘 要： | 建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置，通过在90度磁过滤管道和阴极之间加30－60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高，研究和观察表明，此时在过滤管道和阴之间产生了阴极真空弧放电，并因此使阴极消耗率大幅度增大，对此放电回路及其和MEVVA阳极－阴极之间弧放电的相互影响进行了初步的实验研究。 |
| 关 键 词： | 阴极真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 第二阳极 |
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