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| 微晶硅应变计压力传感器的研制 | |
| 引用本文： | 陈怀溥,王思杰.微晶硅应变计压力传感器的研制[J].西北大学学报,1989,19(3):71-74. |
| 作者姓名： | 陈怀溥 王思杰 |
| 作者单位： | 西北大学物理系 (陈怀溥，王思杰)，西北大学物理系(曹子祥) |
| 摘 要： | 本文介绍了n型微晶硅应变计传感器的研制工作。从应变计的灵敏系数K=-30.5和灵敏系数的温度系数α_k=-0.08%℃~(-1)等主要参数可以看到:用微晶硅制作的应变计,灵敏系数高,温度特性和线性度好,是传感器领域里很有希望的一种新器件。 |
| 关 键 词： | 应变计 压力传感器 研制 |
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