微尺度薄膜热容测试技术

微纳米薄膜材料广泛应用于微纳器件中，因此微尺度薄膜热容测试技术对于微纳器件热设计十分重要。本文介绍了一种新型的用于薄膜热容测试的自对准双层悬空膜片结构——双层悬臂梁量热计，它主要应用于薄膜材料热容测量和微结构中的近场热辐射研究。同时介绍了双层悬臂梁量热计用于薄膜热容测试的几种测试方法，包括差式扫描量热法、热延迟时间法、脉冲量热法等。