| 基于X射线荧光的铝硅共渗涂层厚度测量研究 |
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| 引用本文： | 余嘉博,汪诚,渠逸,李秋良.基于X射线荧光的铝硅共渗涂层厚度测量研究[J].空军工程大学学报,2023,24(4):20-27. |
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| 作者姓名： | 余嘉博 汪诚 渠逸 李秋良 |
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| 作者单位： | 1.空军工程大学基础部，西安，710051；2.中国空气动力研究与发展中心空天技术研究所，四川绵阳，621000 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金（2023-JC-QN-0696） |
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| 摘 要： | 铝硅共渗涂层常喷涂于发动机高温叶片表面，涂层的防护对于延长发动机叶片的使用寿命至关重要。X射线荧光无损检测技术能快速便捷地监控涂层厚度情况，但是目前这种方法对于多元素双层膜铝硅共渗涂层厚度的检测不准确。为了进一步研究多元素双层膜铝硅共渗涂层厚度与X射线荧光检测值的关系，基于X射线荧光无损检测技术提出了一种方法来减小X射线荧光测量数据的误差，再通过验证钼元素荧光对数值与第1层膜厚度之间的线性关系来确定这种方法的可行性，最后基于X射线荧光吸收与发散的原理，拟合出中间层膜的厚度与钼元素荧光之间的计算模型。得出以下结论：当膜中钼元素质量分数大于基底中该元素质量分数时，随着膜厚度值的增加，仪器接收到的荧光效应先减弱再增强，临界值大约为14.3 μm，小于该临界值的铝硅共渗涂层，涂层元素相互渗透对厚度测量的影响不可忽视。
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| 关 键 词： | X射线荧光检测 多元素双层膜 涂层厚度 |
Study of the Measurement of the Thickness of Aluminum-Silicon Permeability Layer Based on X-Ray Fluorescence |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | X-ray fluorescence detection multielement bilayer film coating thickness |
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