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| 微电子技术的进展与挑战 | |
| 作者姓名： | 林鸿溢 李映雪 |
| 作者单位： | 北京理工大学电子工程系,北京,100081;北京大学微电子研究所,北京,100871 |
| 基金项目： | 国防预研和国家自然科学基金项目. |
| 摘 要： | 微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今,经历了半个世纪的发展,已经取得巨大进步,成为人类社会众多领域的关键技术,从而有力地推动,并将继续推动着人类社会全面进入信息时代。 |
| 关 键 词： | 微电子技术 集成电路 纳米电子学 微机电系统 单芯片系统 |
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