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| 洁净室（区）中悬浮粒子检测结果不确定度评定 | |
| 引用本文： | 李沅庭,郑伟东.洁净室（区）中悬浮粒子检测结果不确定度评定[J].广东科技,2009(18):70-71. |
| 作者姓名： | 李沅庭 郑伟东 |
| 作者单位： | 广东省保化检测中心有限公司 |
| 摘 要： | 目的:评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度.方法:建立测量过程中的数学模型,对过程中的误差进行辨别,分析测量过程中的不确定度.结果:粒径≥0.5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4799;粒径≥5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4804. |
| 关 键 词： | 洁净室 悬浮粒子 不确定度 |
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