| 基于体硅工艺的微夹持器设计 |
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| 引用本文： | 李勇,李玉和,李庆祥,訾艳阳.基于体硅工艺的微夹持器设计[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(5):655-658. |
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| 作者姓名： | 李勇 李玉和 李庆祥 訾艳阳 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 清华大学机械工程学院研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为克服静电致动微夹持器夹持力小、运动范围小的弱点,设计并研制了一种基于体硅工艺的微夹持器。建立了S形柔性夹持臂力学模型,借助有限元方法进行结构优化、夹持臂模态分析以及静电驱动器对微操作对象影响的估算。研制成一种大深宽比梳状静电驱动微夹持器,释放了等效长度达5.470mm的柔性夹持臂。该夹持器采用了导电型并接地连接的柔性微夹持臂,可防止静电对操作的影响,柔性结构有效解决了静电力小与硅材料的弹性模量高之间的矛盾,使微夹持器的夹持力输出大大增加。
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| 关 键 词： | 微夹持器 有限元方法 体硅工艺 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)05-0655-04 |
| 修稿时间： | 2002年9月23日 |
Microgripper based on silicon bulk micromachining |
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| LI Yong,LI Yuhe,LI Qingxiang,ZI Yanyang.Microgripper based on silicon bulk micromachining[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(5):655-658. |
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| Authors: | LI Yong LI Yuhe LI Qingxiang ZI Yanyang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microgripper finite element method silicon bulk micromachining |
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