| 气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C：H复合膜的影响? |
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| 引用本文： | 李作文,黄鑫,廖斌,曹望,周福增,伏开虎,周晗,张旭.气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C：H复合膜的影响?[J].北京师范大学学报(自然科学版),2014(6):609-613. |
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| 作者姓名： | 李作文 黄鑫 廖斌 曹望 周福增 伏开虎 周晗 张旭 |
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| 作者单位： | 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京;北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室，北京师范大学核科学与技术学院，北京市辐射中心，100875，北京 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H复合薄膜.采用XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明:C2H2气体流速由20mL·min-1增加到70mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高;气体流速超过70mL·min-1后,C原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49GP,摩擦因数0.25).
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| 关 键 词： | 磁过滤阴极真空弧(FCVA) nc-ZrC/a-C:H 气体流速 |
Effect of gas flow rate on nc-ZrC/a-C:H composite films deposited by filtered cathodic vacuum arc technology |
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| LI Zuowen,HUANG Xin,LIAO Bin,CAO Wang,ZHOU Fuzeng,FU Kaihu,ZHOU Han,ZHANG Xu.Effect of gas flow rate on nc-ZrC/a-C:H composite films deposited by filtered cathodic vacuum arc technology[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),2014(6):609-613. |
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| Authors: | LI Zuowen HUANG Xin LIAO Bin CAO Wang ZHOU Fuzeng FU Kaihu ZHOU Han ZHANG Xu |
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| Institution: | LI Zuowen;HUANG Xin;LIAO Bin;CAO Wang;ZHOU Fuzeng;FU Kaihu;ZHOU Han;ZHANG Xu;Key Laboratory of Beam Technology and Material Modification of Ministry of Education,Institute of Nuclear Science and Technology,Beijing Normal University;Beijing Radiation Center; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FCVA nc-ZrC/a-C:H flow rate |
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