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静电纳米浅拱的动力学行为
作者姓名:常云霞  张琪昌
摘    要:
在自顶向下制造纳米结构的过程中,热膨胀失配或边界支撑件发生底切刻蚀而引起的压缩松弛会产生应力和应变,可导致纳机电系统静电驱动梁的初始曲率.因此,实际上很难构建无曲率的纳米结构.本文综合考虑尺度效应、卡西米尔力和静电力的边缘效应等因素,应用Euler Bernoulli梁理论,建立了静电驱动纳米浅拱固支梁式谐振器的分布质...

关 键 词:静电纳米拱  多尺度方法  主共振  非线性特性
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