| 0.9Pb(Sc1/2Ta1/2)O3-0.1PbTiO3/0.65Pb(Mg1/3Nb2/3) O3-0.35PbTiO3 多层薄膜的制备及铁电性研究 |
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| 引用本文： | 李雪冬,刘洪,吴家刚,刘刚,肖定全,朱建国.0.9Pb(Sc1/2Ta1/2)O3-0.1PbTiO3/0.65Pb(Mg1/3Nb2/3) O3-0.35PbTiO3 多层薄膜的制备及铁电性研究[J].科技咨询导报,2015(10). |
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| 作者姓名： | 李雪冬 刘洪 吴家刚 刘刚 肖定全 朱建国 |
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| 作者单位： | 1. 绵阳师范学院物理与电子信息工程系 四川绵阳 621000;四川大学 材料科学与工程学院 四川成都 610064
2. 四川大学 材料科学与工程学院 四川成都 610064
3. 绵阳师范学院物理与电子信息工程系 四川绵阳 621000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，绵阳师范学院科研课题 |
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| 摘 要： | 以LaNiO3做缓冲层,用射频磁控溅射法在SiO2/Si(100)衬底上制备出0.9Pb(Sc1/2Ta1/2)O3 -0.1PbTiO3/0.65Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.35PbTiO3铁电多层薄膜.采用两步法在峰值温度650℃和700℃对薄膜进行退火.通过电滞回线和漏电流曲线对薄膜的铁电性能进行了测量.研究发现,650 ℃退火的薄膜有较好的铁电性,其剩余极化2Pr=9.5 μc/cm2,矫顽场2Ec=42.2 kV/cm,100 kV/cm场强下漏电流密度为31μA/cm2.700 ℃退火的薄膜铁电性有所下降,2Pr=3.1 μc/cm2,但薄膜却具有很低的矫顽场,2Ec=22.6 kV/cm.分析认为,铁电性的退化与高温下薄膜中异质结间的相互作用及挥发性元素Pb和Mg的损失密切相关.
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| 关 键 词： | 多层薄膜 铁电性 电滞回线 两步法退火 |
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