| Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的磁控溅射法制备与介电性能研究 |
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| 引用本文： | 王今朝,章天金,王军,江娟,潘瑞坤,何军.Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的磁控溅射法制备与介电性能研究[J].湖北大学学报(自然科学版),2007,29(2):160-163. |
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| 作者姓名： | 王今朝 章天金 王军 江娟 潘瑞坤 何军 |
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| 作者单位： | 湖北大学材料科学与工程学院 湖北武汉430062 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金(2001ABA094)资助课题 |
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| 摘 要： | 用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.研究沉积气压和衬底温度对BST薄膜结构及介电性能的影响.应用XRD和AFM表征薄膜的物相结构及其表面形貌,通过阻抗分析仪测量薄膜的介电性能.结果表明在3.0 Pa沉积气压和600℃衬底温度下制备的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜有较好的微结构和介电性能.
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| 关 键 词： | BST薄膜 磁控溅射 介电性能 |
| 文章编号： | 1000-2375（2007）02-0160-04 |
| 收稿时间： | 2006-06-29 |
| 修稿时间： | 2006-06-29 |
Preparation and dielectric properties of Ba0.65Sr0.35TiO3 thin films by magnetron sputtering |
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| WANG Jin-zhao,ZHANG Tian-jin,WANG Jun,JIANG Juan,PAN Rui-kun,HE Jun.Preparation and dielectric properties of Ba0.65Sr0.35TiO3 thin films by magnetron sputtering[J].Journal of Hubei University(Natural Science Edition),2007,29(2):160-163. |
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| Authors: | WANG Jin-zhao ZHANG Tian-jin WANG Jun JIANG Juan PAN Rui-kun HE Jun |
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| Institution: | School of Materials Science and Engineering, Hubei University, Wuhan 430062, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BST thin films magnetron sputtering dielectric properties |
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