| 应用于MEMS基频率源的CMOS温度传感器 |
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| 引用本文： | 黄继伟,陈星,王科平.应用于MEMS基频率源的CMOS温度传感器[J].福州大学学报(自然科学版),2021,49(4):451-457. |
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| 作者姓名： | 黄继伟 陈星 王科平 |
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| 作者单位： | 福州大学物理与信息工程学院,福州大学物理与信息工程学院,天津大学微电子学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金面上项目资助(61774035) |
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| 摘 要： | 基于TSMC 0.18μm 1P6M CMOS工艺设计了用于在片测温的CMOS温度传感器.该温度传感器采用双极型晶体管为测温核心器件,使用缩放式模数转换器(ZOOM ADC)来实现温度信息的读取.温度前端电路采用动态匹配技术(DEM)和斩波技术来降低电流源失配和运放失调,实现对电流增益β_F的补偿,提高电路的精度.同时,将ADC所需的控制时钟电路集成在片内,降低了系统应用的复杂度,整个系统面积为780μm×800μm.仿真表明,在1.8 V电源电压下电路的静态功耗为240μW,通过两点拟合校正后,实现了在-55℃～125℃量程内的测温精度为±0.5℃.
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| 关 键 词： | CMOS温度传感器 动态匹配 缩放式模数转换器 |
| 收稿时间： | 2020/11/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/1/7 0:00:00 |
A CMOS Temperature Sensor For MEMS-based Frequency Source |
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| HUANG Jiwei,CHEN Xing and Wang Keping.A CMOS Temperature Sensor For MEMS-based Frequency Source[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),2021,49(4):451-457. |
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| Authors: | HUANG Jiwei CHEN Xing and Wang Keping |
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| Institution: | College of Physics and Information Engineering,Fuzhou University,Fuzhou,College of Physics and Information Engineering,Fuzhou University,Fuzhou,School of Microelectronics,Tianjin University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CMOS temperature sensor Dynamically element matched(DEM) Zoom analog-to-digital converter(ZOOM ADC) |
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