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| GaAs外延片质量控制 | |
| 引用本文： | 陈开林.GaAs外延片质量控制[J].广东科技,2012(21):191+198-191,198. |
| 作者姓名： | 陈开林 |
| 作者单位： | 珠海市金威电子公司 |
| 摘 要： | Mocvd法生长外延片，是当前制做LED产品关键工艺，外延材料是LED核心部分。所以要获得符合要求的外延层，必须做好方方面面的质量控制工作。以Mocvd法生长GaAs外延层为例，结合理论和实践经验，进一步论述Mocvd法生长GaAs外延片的一些方法和经验。 |
| 关 键 词： | GaAs外延 质量控制 |
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