| 一种基于部分补偿与稀疏阵列的深度非球面测量新方法 |
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| 引用本文： | 吕宁,乔玉晶,于晓洋.一种基于部分补偿与稀疏阵列的深度非球面测量新方法[J].四川大学学报(自然科学版),2008,45(5):1174-1178. |
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| 作者姓名： | 吕宁 乔玉晶 于晓洋 |
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| 作者单位： | 哈尔滨理工大学自动化学院,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 黑龙江省哈尔滨市青年科学基金，黑龙江省教育厅科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 为了克服传统非球面补偿法测量对象的单一性,并提高非球面的动态测量范围,提出一种部分补偿与稀疏阵列CCD结合测量深度非球面的新方法.该方法首先采用多针孔阵列将CCD的感光面转换成稀疏阵列,通过降低干涉条纹的条纹密度来提高干涉仪的可测空间频率;根据被测非球面所需补偿的动态范围设计计算全息元件,部分补偿非球面性后,通过干涉测量获得深度非球面的表面信息.分析表明,采用该方法的干涉仪相对于传统干涉仪测量范围能扩大到10倍,实验表明稀疏阵列和部分补偿方法结合后能够实现精确的深度非球面测量.
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| 关 键 词： | 非球面测量 干涉测量 稀疏阵列 针孔模板 部分补偿 |
A new metrology method of steep aspheric surface based on part compensating and sparse CCD |
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| LV Ning,QIAO Yu-Jing and YU Xiao-Yang.A new metrology method of steep aspheric surface based on part compensating and sparse CCD[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2008,45(5):1174-1178. |
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| Authors: | LV Ning QIAO Yu-Jing and YU Xiao-Yang |
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| Institution: | School of Automation, Harbin University of Science and Technology;School of Automation, Harbin University of Science and Technology;School of Automation, Harbin University of Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aspheric surface testing interferometry sparse CCD pin-hole mask part compensating |
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