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| 微机械制造中对精密超精密加工技术的有效应用 | |
| 作者单位： | ;1.盐城生物工程高等职业技术学校 |
| 摘 要： | 最近几年,我国的微机电系统和机械零件制造业在社会经济发展的影响下,呈现出突飞猛进的发展势头。精密超精密加工技术也对我国的航天、国防和微电子工业等行业发展起到了至关重要的促进作用。因此,在微机械制造中运用精密超精密加工技术,不但能够使我国的微机械零件制造水平得到提升,还能带动我国微机械制造业进一步的发展。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 精密超精密加工技术 微机械制造 |
The Effective Application of Precision Ultra Precision Machining Technology in Micro Mechanical Manufacturing |
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