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微腔型传感器的电化学表征及其应用初探
引用本文:
贾能勤,朱燕,等.微腔型传感器的电化学表征及其应用初探[J].上海师范大学学报(自然科学版),2004(1).
作者姓名:
贾能勤
朱燕
作者单位:
上海师范大学生命与环境科学学院,上海200234
摘 要:
利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器,微芯片(3×6mm^2)具有三维腔体(腔深300μm,铂工作电极1.21.2mm^2,Ag/AgCl参比)。工作电极与Ag/AgCl参比集成在同一微 芯片上,作者对微腔型电极进行了电化学特性的表征,并测试了微芯片上Ag/AgCl参比电极的性能,考察了微腔型传感器在化学传感器、生物传感器方面的初步应用。对H2O2,半乳糖进行检测。
关 键 词:
微腔型传感器
微机械加工技术
化学传感器
生物传感器
电化学表征
应用
各向异性腐蚀技术
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