硅压阻式压力传感器温度性能的改善 |
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引用本文: | 刘君华,丁胜群.硅压阻式压力传感器温度性能的改善[J].西安交通大学学报,1982(4). |
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作者姓名: | 刘君华 丁胜群 |
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作者单位: | 西安交通大学动力工程二系
(刘君华),西安交通大学动力工程二系(丁胜群) |
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摘 要: | 硅压阻式压力传感器产品分为提供温度补偿与不提供温度补偿两种.本文从使用者的角度针对国产桥路封闭式GYC型传感器提出几种改善温度性能的方法,可以使传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数方便地达到10~(-5)/℃数量级.这些方法同样适用于不提供温度补偿、桥路不封闭的其他型号传感器.
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