| 电子束蒸发太阳能电池窗口层ZnO薄膜 |
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| 引用本文： | 阮文农,黄碧华,黄赐昌.电子束蒸发太阳能电池窗口层ZnO薄膜[J].集美大学学报(自然科学版),2006,11(2):185-187. |
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| 作者姓名： | 阮文农 黄碧华 黄赐昌 |
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| 作者单位： | 福州大学电子科学与应用物理系,福建,福州,350002 |
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| 基金项目： | 福建省教育厅科技计划项目 |
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| 摘 要： | 用电子束蒸发法在玻璃基片上制备太阳能电池窗口层ZnO薄膜，并在氧气环境下对其在400～500℃的温度下退火1h．通过X射线衍射、电镜扫描、透过率光谱等手段测试和分析所制备的薄膜，结果表明：当薄膜未经过热处理时，薄膜中含有大量的单质锌；当薄膜经过400℃退火后，薄膜逐渐结晶，并且其物相成分基本是ZnO；当退火温度逐渐升高到500℃时，晶粒长大，晶化程度提高，对可见光和近红外光的透过率也增大，平均值可达90％，此时所制备出的ZnO薄膜适合于作为太阳能电池的窗口层。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 电子束蒸发 退火 |
| 文章编号： | 1007-7405（2006）02-0185-03 |
| 收稿时间： | 2005-12-31 |
| 修稿时间： | 2005年12月31 |
Solar Cell Window Layer of ZnO Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation |
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| RUAN Wen-nong,HUANG Bi-hua,HUANG Ci-chang.Solar Cell Window Layer of ZnO Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation[J].the Editorial Board of Jimei University(Natural Science),2006,11(2):185-187. |
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| Authors: | RUAN Wen-nong HUANG Bi-hua HUANG Ci-chang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film electron beam evaporation annealing |
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