| 干涉显微镜在超精密测量中的应用 |
| |
| 引用本文： | 王晓霞,郭小芸.干涉显微镜在超精密测量中的应用[J].佳木斯大学学报,1999,17(4):420-424. |
| |
| 作者姓名： | 王晓霞 郭小芸 |
| |
| 作者单位： | 佳木斯大学工学院!佳木斯，154007，佳木斯大学工学院!佳木斯，154007 |
| |
| 摘 要： | 介绍了干涉显微镜测量原理，仪器结构，空间分辨率和测量范围，分析了测量误差产生的原因，通过实验表明，干涉显微镜能够比较真实地反映超光表面微观形貌特征，是超光滑表面微观形貌测量的有效工具。
|
| 关 键 词： | 干涉显微镜 表面微观形貌 超精密测量 |
THE APPLICATION OF INTEROMICROSCOPY IN ULTRA-MEARURING |
| |
| Wang,Xiaoxia Guo Xiaoyun.THE APPLICATION OF INTEROMICROSCOPY IN ULTRA-MEARURING[J].Journal of Jiamusi University(Natural Science Edition),1999,17(4):420-424. |
| |
| Authors: | Wang Xiaoxia Guo Xiaoyun |
| |
| Abstract: | This paper introduces the measuring principles,instrument structures ,spacial resolutions and their application domain of interomicroscopy.The measuring errors are also analyzed ,the results show that interomicroscopy can measure truly the characteristic of ultra-smooth surface microtopography,it is a useful tool in measuring of ultra-smooth surface microtopography. |
| |
| Keywords: | interomicroscopy surface microtopography measuring |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
