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超级电容器RuO_2·nH_2O电极材料的热处理工艺
作者姓名:刘泓  甘卫平  黄波  师响  刘继宇  郑峰
作者单位:1. 中南大学材料科学与工程学院,湖南长沙,410083
2. 中国振华集团新云电子元器件有限责任公司,贵州贵阳,550018
基金项目:国家高技术研究发展计划项目,米塔尔基金资助项目 
摘    要:以RuCl_3·3H_2O水溶液为电沉积液,采用直流一示差脉冲组合电沉积技术制备超级电容器用钽基RuO_2·nH_2O薄膜阴极材料.借助扫描电镜、X射线衍射仪和电化学分析仪,研究RuO_2·nH_2O薄膜的微观形貌、物相结构、循环伏安和充放电性能.实验结果表明:RuCl_3H_2O先驱体经热处理后转变成RuO_2·nH_2O薄膜,呈不定形结构时能获得较大的比电容;随着热处理温度的升高,薄膜材料的附着力提高,RuO_2·nH_2O薄膜由不定形结构向晶体结构转变,随之薄膜的比电容下降;在300℃热处理的RuO_2·nH_2O薄膜电极材料,其比电容为466 F/g,薄膜与钽基体的附着力为11.3 MPa,薄膜的单位面积质量为2.5 mg/cm~2,1 000次充放电循环后比电容为循环前的93.1%.

关 键 词:超级电容器  氧化钌薄膜  直流-示差脉冲电沉积  热处理
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