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人造金刚石低压气相生长的热力学研究
作者姓名:
张卫 万永中
摘 要:
用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在CH4/H2和C2H2/O2气相体系中的生长,计算了不同压力下这两种体系生长金刚石的相图,与用经典的平稳热力学理论计算的相图不同,得到的相图都有金刚石生长区。
关 键 词:
化学气相淀积 低压 气相生长 人造金刚石 热力学
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