| (Ba0.7Sr0.3)TiO3铁电薄膜热敏电容器的研制 |
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| 引用本文： | 刘世建,徐重阳,曾祥斌,赵伯芳. (Ba0.7Sr0.3)TiO3铁电薄膜热敏电容器的研制[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2000, 28(10) |
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| 作者姓名： | 刘世建 徐重阳 曾祥斌 赵伯芳 |
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| 作者单位： | 华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系;华中理工大学电子科学与技术系 |
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| 基金项目： | 国防科技预研基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的BST((Ba0 .7Sr0 .3)TiO3)铁电薄膜热敏电容器 .介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺 .根据热敏电容器的电容 -温度曲线 ,分析了热敏电容器的工作原理 .实验结果表明BST铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近 ,约 2 6℃处
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| 关 键 词： | BST铁电薄膜 热敏电容器 非致冷红外焦平面阵列 电容-温度曲线 |
Fabrication of Thermal-Sensitive(Ba0.7Sr0.3)TiO3 Ferroelectric Film Capacitors |
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| Liu Shijian,Xu Chongyang,Zeng Xiangbin,Zhao Bofang. Fabrication of Thermal-Sensitive(Ba0.7Sr0.3)TiO3 Ferroelectric Film Capacitors[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2000, 28(10) |
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| Authors: | Liu Shijian Xu Chongyang Zeng Xiangbin Zhao Bofang |
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| Affiliation: | Liu Shijian Xu Chongyang Zeng Xiangbin Zhao Bofang |
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| Keywords: | BST ferroelectric thin film thermal sensitive capacitor uncooled infrared focal plane array capacitor temperature curve |
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