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分类号
杂志ISSN号
微波放电等离子体性能研究
作者姓名:
郑德修 金伟强
基金项目:
国家自然科学基金资助项目
摘 要:
利用自行设计建立的微波放电实验系统,运用静电双探针对产生的等离子体进行了测试,得承均匀磁场中微波输入功率、气体压强、气体种类等条件对等离子体参数及其分布的影响,并对实验结果答了简要分析。
关 键 词:
微波放电 等离子体 静电双探针
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