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低气压放电中的弧光放电发展及其抑制方法
引用本文:熊承义,孙奉娄.低气压放电中的弧光放电发展及其抑制方法[J].中南民族学院学报(自然科学版),2001,20(1):1-4.
作者姓名:熊承义  孙奉娄
摘    要:在高频直流脉冲放电的条件下,对低气压放电过程中存在的弧光放电的发展过程进行了研究,揭示了脉冲放电频率的提高对抑制弧光放电的发展是有效的,而快速的弧光放电检测和保护电路是不可缺少的。为一种新型等离子体高频激励电源的研制提供了有效的依据。

关 键 词:弧光放电  等离子体  高频脉冲  低气压放电  空心阴极效应  离子渗氮  表面强化技术
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