| 化学气相淀积反应器内TiCl_4氧化反应动力学 |
| |
| 引用本文： | 王松,胡黎明,郑柏存,古宏晨. 化学气相淀积反应器内TiCl_4氧化反应动力学[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1992, 0(4) |
| |
| 作者姓名： | 王松 胡黎明 郑柏存 古宏晨 |
| |
| 作者单位： | 华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(王松，胡黎明，郑柏存)，华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(古宏晨) |
| |
| 摘 要： | 采用原位红外测试技术,在线观测了化学气相淀积反应器内TiCl_4的均相氧化反应。捕获了两种重要活性中间体TiCl_3和TiOCl_2,从而导出该反应的机理模型。并采用尾气红外定量分析方法得到了TiCl_4氧化反应的动力学方程及反应活化能。反应活化能:66.8 kJ/mol,指前因子:2.45×10~2/s。
|
| 关 键 词： | 反应动力学 四氟化钛 二氧化钛 中间体 化学气相淀积 |
Kinetics of Titanium Tetrachloride Oxidation in Chemical Vapor Deposition Reactor |
| |
| Wang Song,Hu Liming,Zheng Baicun Gu Hongchen. Kinetics of Titanium Tetrachloride Oxidation in Chemical Vapor Deposition Reactor[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1992, 0(4) |
| |
| Authors: | Wang Song Hu Liming Zheng Baicun Gu Hongchen |
| |
| Affiliation: | Technical Chemical Physics Laboratory |
| |
| Abstract: | In situ FTIR method was successfully used to observe the homogenous reaction on line in CVD reactor. Two important active intermediates TiOCl_2, TiCl_3 were observed. A more creditable kinetic mechanism was obtained based on these experimental data. The oxidation rate of TiCl_4 vapor was measured by FTIR quantitative analysis. The apparent activation energy for the reaction is 66.8kJ/mol. |
| |
| Keywords: | kinetics titanium tetrachloride titanium dioxide intermediate chemical vapor deposition |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
