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XPS中原子灵敏度因子定标方法
引用本文:孙凤久 吴春俐. XPS中原子灵敏度因子定标方法[J]. 东北大学学报(自然科学版), 1995, 16(5): 539-542
作者姓名:孙凤久 吴春俐
摘    要:
提出通过XPS谱仪探测效率的测定及光电截面和电子平均自由程的计算来推求原子灵敏度因子表的方法,该方法无需对全部元素的XPS谱进行实测,是一种简便的用于定量分析的原子灵敏度因子定标方法.依此方法对NP-1A型XPS谱仪进行了定标,并得到了可用于定量分析的有实用价值的结果.通过对美国PHI-550谱仪的经验原子灵敏度因子表的分析发现,若已知两台谱仪的相对探测效率,则可由一台谱仪的原子灵敏度因子表导出另一台谱仪的原子灵敏度因子表.

关 键 词:XPS 原子灵敏度因子 定标 光电子能谱

Calibration Atomic Sensitivity Factors in XPS
Sun Fengjiu, Wu Chunli, Bai Zhiming. Calibration Atomic Sensitivity Factors in XPS[J]. Journal of Northeastern University(Natural Science), 1995, 16(5): 539-542
Authors:Sun Fengjiu   Wu Chunli   Bai Zhiming
Affiliation:Sun Fengjiu; Wu Chunli; Bai Zhiming
Abstract:
Keywords:XPS  atomic sensitivity factor  detective efficiency  calibration.
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