用于真空测量的电容式微型传感器 |
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引用本文: | 霍晓玮,冯勇建,廖泽龙,陈志建.用于真空测量的电容式微型传感器[J].中国科技成果,2010,11(19):58-60. |
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作者姓名: | 霍晓玮 冯勇建 廖泽龙 陈志建 |
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作者单位: | 厦门大学机电工程系,福建厦门361005 |
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摘 要: | 文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器。该传感器采用p++硅自停止腐蚀技术和硅-玻璃键合技术制作,形成了硅-玻璃-硅的三明治结构,使得该传感器结构简单、灵敏度高。传感器输出的电压信号经过信号处理电路进行放大、处理,实验数据表明,传感器的电容值与真空度成线性关系,满足测量的要求。
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关 键 词: | MEMS 真空传感器 电容测试 信号处理 |
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