| 等离子体MOCVD法制备纳米Al2O3粉末及其表征 |
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| 引用本文： | 韩世忠,庞庆,严红,陈京会,何林,郑鹏.等离子体MOCVD法制备纳米Al2O3粉末及其表征[J].武汉科技大学学报(自然科学版),2008,31(2):183-185. |
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| 作者姓名： | 韩世忠 庞庆 严红 陈京会 何林 郑鹏 |
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| 作者单位： | 1. 武汉数字工程研究所,湖北,武汉,430074
2. 武汉科技大学化学工程与技术学院,湖北,武汉,430081 |
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| 摘 要： | 讨论等离子体有机金属化学气相沉积(MOCVD)法制备纳米Al2O3粉末,同时研究了反应温度、压力、TMA浓度和反应气体(CO2和O2)等制备条件对Al2O3结构性能的影响.试验结果表明,压力增加有利于纳米Al2O3制备.在压力为5.3 kPa、温度为1 000 ℃下,采用MOCVD法可以制备平均直径为2.5 nm的Al2O3粉末.而压力从5.3 kPa增加到100 kPa 时,Al2O3颗粒平均直径从2.5 nm增加到10 nm.温度升高可以促使纳米Al2O3合成.通过透射电镜(TEM)观测到Al2O3粉末为球形.X射线衍射分析(XRD)表明,在温度高于400 ℃时,Al2O3粉末为典型的γ-Al2O3结晶态.
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| 关 键 词： | 纳米Al2O3 MOCVD 等离子体 等离子体 MOCVD 法制 纳米 粉末 表征 thermal synthesized powder nanosized 结晶态 温度高 衍射分析 射线 观测 透射电镜 合成 温度升高 颗粒 平均直径 |
| 文章编号： | 1672-3090(2008)02-0183-03 |
| 修稿时间： | 2008年2月22日 |
Characterization of nanosized Al2O3 powder synthesized by thermal MOCVD |
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| Han Shizhong,Pang Qing,Yan Hong,Chen Jinghui,He Lin,Zheng Peng.Characterization of nanosized Al2O3 powder synthesized by thermal MOCVD[J].Journal of Wuhan University of Science and Technology(Natural Science Edition),2008,31(2):183-185. |
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| Authors: | Han Shizhong Pang Qing Yan Hong Chen Jinghui He Lin Zheng Peng |
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