| 电极间距对BeMgZnO薄膜光电探测器性能的影响 |
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| 引用本文： | 裴卫杰,杨蓉慧子,陈剑,张腾,汪洋,黎明锴,卢寅梅,何云斌.电极间距对BeMgZnO薄膜光电探测器性能的影响[J].湖北大学学报(自然科学版),2020,42(3):253-258. |
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| 作者姓名： | 裴卫杰 杨蓉慧子 陈剑 张腾 汪洋 黎明锴 卢寅梅 何云斌 |
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| 作者单位： | 湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062,湖北大学材料科学与工程学院,湖北 武汉430062 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 通过脉冲激光沉积的方法在c面蓝宝石衬底上制备Be和Mg共掺的Be MgZnO四元合金薄膜.表征测试结果表明,所得薄膜为沿c轴外延生长、具有纤锌矿结构的高质量薄膜,其具有比纯Zn O明显更大的带隙(4. 3 e V).在此薄膜表面分别蒸镀间距为10μm和100μm的平行Au电极,得到电极间距不同的两种Be MgZnO基光电探测器.通过I-V,I-t测试,系统研究电极间距对光电探测器性能的影响,结果表明:当Be MgZnO光电探测器的电极间距较小时(10μm),其暗电流更大,光电流更小,响应速度更快.这些信息可为高性能光电探测器的设计提供有益参考.
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| 关 键 词： | 光电探测器 脉冲激光沉积 合金薄膜 BeMgZnO 电极间距 |
Effect of electrode spacing on the performance of BeMgZnO thin-film photodetectors |
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| PEI Weijie,YANG Ronghuizi,CHEN Jian,ZHANG Teng,WANG Yang,LI Mingkai,LU Yinmei,HE Yunbin.Effect of electrode spacing on the performance of BeMgZnO thin-film photodetectors[J].Journal of Hubei University(Natural Science Edition),2020,42(3):253-258. |
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| Authors: | PEI Weijie YANG Ronghuizi CHEN Jian ZHANG Teng WANG Yang LI Mingkai LU Yinmei HE Yunbin |
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