实现256MB超大规模集成电路的关键工艺——RVD法期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

实现256MB超大规模集成电路的关键工艺——RVD法

作者姓名：	张其媛

摘要：
关键词：	256MB超大规模集成电路制造工艺氧游离气相扩散法 NDN型双极晶体管
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