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| 实现256MB超大规模集成电路的关键工艺——RVD法 | |
| 引用本文： | 张其媛.实现256MB超大规模集成电路的关键工艺——RVD法[J].国外科技消息,1992(5):12-12. |
| 作者姓名： | 张其媛 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 256MB超大规模集成电路 制造工艺 氧游离气相扩散法 NDN型双极晶体管 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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