金属与金属氧化物复合靶制备Bi4Ti3O12薄膜 |
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引用本文: | 周正国,卢志红.金属与金属氧化物复合靶制备Bi4Ti3O12薄膜[J].武汉大学学报(自然科学版),1995,41(3):347-350. |
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作者姓名: | 周正国 卢志红 |
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摘 要: | 报道了金属与金属氧化物复合靶的射频溅射法,制备Bi4Ti3O12(BTO)铁电陶瓷薄膜的方法,研究了BTO薄膜的晶体结构,表面形貌以及断面。实验表明采用复合靶能够制备质量好、成分均匀的BTO薄膜,其结晶取向与基片材料有关,且退火工艺对膜的质量有影响。
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关 键 词: | 铁电薄膜 复合靶 BTO 薄膜 金属氧化物 |
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