| 离子束辅助沉积碳氮薄膜的结构与性能 |
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| 引用本文： | 贺小明.离子束辅助沉积碳氮薄膜的结构与性能[J].科学通报,1995,40(20):1837-1837. |
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| 作者姓名： | 贺小明 |
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| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系 北京100084
(贺小明，李文治)，清华大学材料科学与工程系 北京100084(李恒德) |
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| 基金项目： | 福特中国研究与发展基金资助项目 |
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| 摘 要： | β-C_3N_4是人们根据理论计算而设计的一种目前在自然界尚未发现的新材料.β-C_3N_4具有类似于β-Si_3N_4化合物的晶体结构,其中碳原子为SP~3杂化结构,而氮原子呈现SP~2键原子组态.根据理论模型计算分析,β-C_3N_4应该有比金刚石更大的弹性模量和更高的硬度.β-C_3N_4所具有的结构与性能特征已引起了人们广泛的兴趣,对它将来的开发应用进行预测表明,β-C_3N_4化合物薄膜可望形成优于金刚石的既硬又光滑的新型膜系材料,并且有可能在航空航天等高技术领域获得重要的应用.
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| 关 键 词： | 碳氮薄膜 离子束辅助沉积 结构 硬度 |
| 收稿时间： | 1994-11-24 |
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