材料科学中的显微分析技术

常用子材料科学中的显微分析技术,一般包括光学显微术、扫描电子显微术、透射电子显微术、场离子显微术、X光衍射分析及X光形貌学、电子探针、离子探针、原子探针、俄歇电子能谱、能谱、波谱、能量损失谱和扫描隧道效应显微术等。本文就它们的特性及用途以简要介绍。透射电子显微术在最近几十年取得了许多新进展。在本世纪五十年代,紧接复型技术后,薄膜样品得到应用;六十年代,高压电子显微技术开辟了新的前景;而七十年代,出现了分析电镜,并获得了分辨原子的本领。透射电子显微术已成为研究材料的重要手段,对于它的发展与应用,本文予以重点介绍。