| PECVD工艺过程的建模与仿真的研究 |
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| 引用本文： | 朱文华,王海东,苏玉鹏,胡贵华.PECVD工艺过程的建模与仿真的研究[J].系统仿真学报,2009,21(21). |
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| 作者姓名： | 朱文华 王海东 苏玉鹏 胡贵华 |
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| 作者单位： | 上海大学CIMS与机器人中心,上海,200072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，上海市制造业信息化专项基金资助项目，上海市重点学科建设资助 |
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| 摘 要： | 基于虚拟现实技术的工艺过程仿真是实际工艺过程在计算机上的本质体现.本文采用层次建模的方法对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺过程进行了建模,建立了PECVD工艺过程的仿真环境,阐述了PECVD工艺过程仿真中的关键技术,基于虚拟仿真的V代码,用程序实现了PECVD的虚拟工艺过程仿真.提高了物理样机的设计效率,减少物理样机的设计与试制时间.
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| 关 键 词： | 虚拟仿真 建模 PECVD 工艺过程 V代码 |
Studies on Modeling and Simulation of PECVD Process |
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| Keywords: | virtual simulation modeling PECVD technique process V-code |
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