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| Au/a-Ge双层膜分形晶化的TEM原位研究 | |
| 作者姓名： | 张庶元 陈志文 谭舜 吴峰 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学结构分析开放实验室!合肥230026 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金!(批准号 :69476009)资助项目 |
| 摘 要： | 对Au/a_Ge双层膜的分形晶化行为在透射电子显微镜 (TEM )中进行了原位观测 .实验证据表明 :分形生长过程中 ,潜热起着十分重要的作用 ,分形枝权的延伸发展 ,是沿着富Ge区连续晶化的结果 .Au ,Ge原子的短程互扩散也同时存在 ,但Au晶粒的聚集 ,抑制了a_Ge向分形区中的p_Ge团簇的扩散 .TEM原位观测的实验事实 ,可以用随机逐次成核 (RSN)模型予以阐明 ,但不排除扩散对分形形成的影响 ,两种机制同时作用于薄膜中的分形晶化 ,可能是分形形成的本质特征 |
| 关 键 词： | 分形晶化 金属 半导体 薄膜 双层膜 TEM |
| 收稿时间： | 1997-03-19 |
| 修稿时间： | 1997-08-28 |
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