| 用氩离子束抛光制作石英超光滑表面 |
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| 引用本文： | 洪义麟.用氩离子束抛光制作石英超光滑表面[J].科学通报,1995,40(5):476-476. |
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| 作者姓名： | 洪义麟 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室，中国科学技术大学国家同步辐射实验室，中国科学技术大学国家同步辐射实验室，中国科学技术大学精密机械仪器系，中国科学技术大学精密机械仪器系，Department of Mechanical Engineering，Nagaoka University of Technology，Japan 合肥230029，合肥230029，合肥230029，合肥230026，合肥230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 超光滑光学表面广泛地应用在短波段光学领域,如同步辐射光束线的反射镜、软X射线波段的多层膜基底等.其表面的粗糙度通常要求小于0.5nmRMS.目前粗糙度好于0.5nmRMS的光学表面是采用特殊磨料,用非常规方法加工的,其缺点是工艺难度大,技术要求高,抛光的均匀性也难以保证.把离子束刻蚀技术用于超光滑表面的抛光这一加工方法,不仅可以提高抛光质量,而且大大提高了工作效率,并确保了工艺的稳定性和抛光的均匀性.
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| 关 键 词： | 石英 超光滑表面 离子束抛光法 表面粗糙度 |
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