| 原子力显微镜仿真平台的设计与实现 |
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| 引用本文： | 张玉东,高金晟,周娴玮,方勇纯.原子力显微镜仿真平台的设计与实现[J].系统仿真学报,2009,21(6). |
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| 作者姓名： | 张玉东 高金晟 周娴玮 方勇纯 |
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| 作者单位： | 1. 南开大学信息学院机器人所,天津,300071
2. 南开大学信息学院电信系,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，新世纪优秀人才支持计划 |
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| 摘 要： | 原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用.原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向.分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂非线性因素,在此基础上,设计并采用Matlab/Simulink工具实现了一个包含接触和轻敲两种模式的原子力显微镜仿真系统,然后通过对样品的扫描结果验证了该仿真平台的有效性.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 仿真平台 接触式 轻敲式 调幅 |
Design and Implementation of Atomic Force Microscope Simulation Platform |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | atomic force microscope (AFM) simulation platform contact mode tapping mode amplitude modulation (AM) |
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