| 掺Ag离子的纳米CdTe薄膜的结构和电性能研究 |
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| 引用本文： | 陈惠敏,郭福强,张保花. 掺Ag离子的纳米CdTe薄膜的结构和电性能研究[J]. 河南大学学报(自然科学版), 2009, 39(5) |
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| 作者姓名： | 陈惠敏 郭福强 张保花 |
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| 作者单位： | 昌吉学院,物理系,新疆,昌吉,831100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(10865005);;昌吉学院科研基金项目(08YJYB013) |
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| 摘 要： | 采用射频(R.F.)磁控溅射在陶瓷(Al2O3)衬底上制备出了纳米晶CdTe薄膜,常温下将薄膜样品浸泡到AgNO3水溶液后,在真空380℃下退火60 min获得Ag离子掺杂的样品.利用X射线衍射(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)对掺杂前后薄膜的晶体结构、外貌形态进行了表征.利用扫描电镜配备的能量色散谱仪(EDS)对薄膜化合物元素组成进行定量分析,并使用HMS-3000型霍耳效应测试测定薄膜电导等电学参数.
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| 关 键 词： | CdTe 薄膜 R.F.磁控溅射 掺杂 |
Studies of Structure and Properties of Ag-Doped CdTe Nanocrystalline Thin Films Fabricated by Low Temperature Sputtering |
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| CHEN Hui-min,GUO Fu-qiang,ZHANG Bao-hua. Studies of Structure and Properties of Ag-Doped CdTe Nanocrystalline Thin Films Fabricated by Low Temperature Sputtering[J]. Journal of Henan University(Natural Science), 2009, 39(5) |
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| Authors: | CHEN Hui-min GUO Fu-qiang ZHANG Bao-hua |
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| Affiliation: | Physics Department of Changji University;Xinjiang Cahgnji 831100;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdTe Thin films R.F.sputtering silver-doped |
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