Co/C,CoN/CN软X射线多层膜的周期结构热稳定性研究 |
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引用本文: | 白海力,姜恩永,王存达,田仁玉.Co/C,CoN/CN软X射线多层膜的周期结构热稳定性研究[J].科学通报,1997,42(23):2503-2506. |
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作者姓名: | 白海力 姜恩永 王存达 田仁玉 |
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作者单位: | 天津大学应用物理学系!天津300072 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(批准号:59672024),北京中关村地区联合分析测试中心资助项目 |
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摘 要: | 软X射线多层膜经常在强光束的照射下,做为反射镜使用。由于同步辐射等强光束携带很高的能量,使软X射线多层膜镜在工作时的温升可达几百度。软X射线多层膜为亚稳结构,周期仅为纳米量级,如此高的温升会对其周期结构造成不同程度的破坏,从而使反射率降低,反射率峰值位置漂移。因此,研究软X射线多层膜的结构热稳定性,对寻求软X射线多层膜的结构稳定性的改善方法具有重要意义。本文通过对Co/C,CoN/CN软X射线多层膜的周期结构热稳定性的对比研究,发现掺杂N可以十分有效地改善Co/C软X射线多层膜的周期结构热稳定性。
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关 键 词: | 软X射线多层膜 多层膜 热稳定性 周期结构 |
收稿时间: | 1997-01-29 |
修稿时间: | 1997-07-16 |
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