| 廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制 |
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| 引用本文： | 臧建民,钟国仿.廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制[J].河北省科学院学报,1997,14(1):6-8. |
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| 作者姓名： | 臧建民 钟国仿 |
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| 作者单位： | 河北省科学院机电一体化中试基地，北京科技大学材料系 |
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| 摘 要： | 本文介绍了在８６３新材料领域资助下最新研制成功的１００ｋｗ级高功率直流等离子体喷射（ＤＣＰｌａｓｍａＪｅｔ）金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验，经过４０小时的连续运行，在Φ１１０ｍｍ的基片上沉积出中心厚１．９ｍｍ，边沿厚１．６ｍｍ的金刚石膜。平均生长速率达４４μｍ／ｈ。
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| 关 键 词： | 】金刚石膜，等离子体喷射 |
DEVELOPMENT OF HIGH POWER DC PLASMA JET SYSTEM FOR LOW COST AND LARGE AREA DIAMOND PRODUCTION |
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| Zang,Jianmin,et.al.DEVELOPMENT OF HIGH POWER DC PLASMA JET SYSTEM FOR LOW COST AND LARGE AREA DIAMOND PRODUCTION[J].Journal of The Hebei Academy of Sciences,1997,14(1):6-8. |
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| Authors: | Zang Jianmin etal |
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| Institution: | Zang Jianmin et.al |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond films Plasma jet CVD |
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