| 蓝宝石晶片质量检测体系研究 |
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| 引用本文： | 周海,姚绍峰.蓝宝石晶片质量检测体系研究[J].应用科技,2005,32(11):21-24. |
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| 作者姓名： | 周海 姚绍峰 |
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| 作者单位： | 1. 盐城工学院机械工程学院,江苏,盐城,224003
2. 兴化祥盛光电子材料公司,江苏,兴化,225716 |
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| 基金项目： | 江苏省教育厅自然科学研究指导计划资助项目(04KJD430213)
国家863计划资助项目(2002AA311010) |
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| 摘 要： | 阐述了蓝宝石晶片质量检测的重要性，根据蓝宝石晶片国家标准和国际质量保证体系，结合目前蓝宝石晶片生产和科研的实际情况，提出了蓝宝石晶片质量检测体系，包括蓝宝石晶片质量检测内容、检测方法和检测设备，通过试验研究，该质量检测体系能够满足光电子领域所需的蓝宝石晶片生产要求。
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| 关 键 词： | 蓝宝石晶片 质量检测 检测方法 质量控制 |
| 文章编号： | 1009-671X（2005）11-0021-04 |
| 收稿时间： | 2005-05-26 |
| 修稿时间： | 2005年5月26日 |
Study of the system of quality inspection for sapphire wafer |
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| ZHOU Hai,YAO Shao-feng.Study of the system of quality inspection for sapphire wafer[J].Applied Science and Technology,2005,32(11):21-24. |
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| Authors: | ZHOU Hai YAO Shao-feng |
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| Institution: | ZHOU Hai~1,YAO Shao-feng~2 |
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| Abstract: | The significance of quality inspection for sapphire wafer is presented. The system of quality inspection for sapphire wafer is brought forward, according to international and Chinese standards of sapphire wafer. The content, method and equipment of quality inspection for sapphire wafer material, shape, surface and cleaning are discussed. This system of quality inspection can meet the need of manufacture of sapphire wafer by experiment. |
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| Keywords: | sapphire wafer quality inspection method of inspecting quality control |
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