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| 不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较 | |
| 引用本文： | 侯娟,宋春燕.不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较[J].科技信息,2009(27):13-14. |
| 作者姓名： | 侯娟 宋春燕 |
| 作者单位： | 石河子大学师范学院物理系;新疆大学物理与科学技术学院; |
| 基金项目： | 石河子大学立项课题(ZRKX200732)资助 |
| 摘 要： | 采用近距离升华法（css）分别在Si、ITO／玻璃、普通玻璃三种衬底上沉积了CdTe多晶薄膜，通过X射线衍射（XRD）分析，比较了它们的微结构。结果表明，用Si作为衬底沉积的CdTe具有很强（111）面择优取向。通过对不同衬底上沉积的CdTe薄膜（111）峰择优取向的研究，发现薄膜的微结构与衬底的结构以及粗糙度有着密切的关系，衬底表面粗糙，成核密度高，沉积的薄膜具有较低的择优取向度。 |
| 关 键 词： | 近距离升华(CSS) X射线衍射(XRD) 衬底 择优取向 |
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