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| 基于EFAB工艺的可植入RFID天线设计 | |
| 作者姓名： | 郭东辉 陈华君 |
| 作者单位： | 1. 厦门大学物理系,福建,厦门,361005;厦门大学电子工程系,福建,厦门,361005 2. 厦门大学物理系,福建,厦门,361005 |
| 基金项目： | 福建省自然科学基金 , 人事部留学人员基金 |
| 摘 要： | 可植入RFID目前已被广泛应用于动物识别和生物医学应用等领域,为了保证RFID在植入体内后避免引起动物或人体的不适,小尺寸和高灵敏度是可植入RFID设计的基本要求.首先说明可植入RFID天线设计的基本参数要求,然后介绍一种标准的MEMS工艺——EFAB工艺,并利用该工艺标准的设计规则进行可植入RFID天线的结构设计,最后通过仿真验证该线圈天线符合可植入RFID的工作要求. |
| 关 键 词： | MEMS工艺 EFAB工艺 可植入RFID 微型线圈天线 |
| 文章编号： | 1000-2243(2007)03-0409-06 |
| 修稿时间： | 2006-01-04 |
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