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| 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 | |
| 引用本文： | 陶也,曾毅波,刘畅,林杰,郭航.微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备[J].厦门大学学报(自然科学版),2013(5):627-632. |
| 作者姓名： | 陶也 曾毅波 刘畅 林杰 郭航 |
| 作者单位： | 厦门大学物理与机电工程学院,萨本栋微米纳米科学技术研究院 |
| 基金项目： | 航空科学基金项目(2008ZH68002) |
| 摘 要： | 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器. |
| 关 键 词： | 微机电系统 电容式压力传感器 硅薄膜 超声腐蚀 化学机械抛光 |
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