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| 氢化锂薄膜防水解技术的研究 | |
| 作者单位： | ;1.西华师范大学物理与空间科学学院 |
| 摘 要： | 运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜,并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜。采用x射线衍射和红外光谱测试,分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用。研究结果表明,随着铝膜厚度的增加,氢化锂薄膜与水或CO_2反应变质的几率越小,铝膜厚度为55 nm时,样品测试结果显示铝膜对氢化锂薄膜起到了一定的保护作用,延缓了氢化锂薄膜与空气中水和CO_2等杂质的反应。 |
| 关 键 词： | 铝薄膜 氢化锂薄膜 水解 磁控溅射 |
Research on Preventing Lithium Hydride Films From Hydrolysis |
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