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| 多晶硅太阳电池的有效等离子体氢钝化 | |
| 引用本文： | 胡志华,刘祖明,陈庭金,廖显伯,廖华.多晶硅太阳电池的有效等离子体氢钝化[J].云南师范大学学报(自然科学版),2002,22(2):9-12. |
| 作者姓名： | 胡志华 刘祖明 陈庭金 廖显伯 廖华 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室,云南,昆明,650092 2. 云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室,云南,昆明,650092 3. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| 摘 要： | 文章报道了一种用于多晶硅太阳电池氢纯化的简单试验装置，等离子体氢是通过辉光放电方法产生。三类完成电极制作的多晶硅太阳电池用于氢纯化试验，伏安特性测试结果表明，经过等离子体氢纯化后的太阳电池性能都有所提高，电池的光电转换效率相对改善高达10.6%。 |
| 关 键 词： | 多晶硅太阳电池 等离子体 氢纯化 辉光放电方法 光电转换效率 伏安特性 |
| 文章编号： | 1007-9793(2002)02-09-04 |
Effective plasma hydrogen passivation of mc-Si solar cells after finishing contacts |
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| Abstract: | A simple equipment and process for hydrogen passivation of multicrystalline silicon (mc-Si) solar cells are reported in this work. Hydrogen plasma is generated by means of AC glow discharge in hydrogen atmosphere. Hydrogen passivation is carried out with three different groups of mc-Si solar cells after finishing contacts. The experimental results demonstrate that the photovoltaic performances of the solar cell samples have been improved after hydrogen plasma treatment, with a relative increase in conversion efficiency up to 10.6%. |
| Keywords: | multicrystalline silicon solar cells plasma hydrogen passivatoin |
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