| 阳极氧化铝膜的制备及自组织细微结构 |
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| 引用本文： | 张崇辉,朱长军,刘汉臣,翟学军.阳极氧化铝膜的制备及自组织细微结构[J].西安工程科技学院学报,2009,23(4). |
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| 作者姓名： | 张崇辉 朱长军 刘汉臣 翟学军 |
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| 作者单位： | 西安工程大学,理学院,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅专项科研计划资助项目，陕西省自然科学基金资助项目，西安工程大学科研计划资助项目 |
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| 摘 要： | 以草酸溶液为电解液,选用高纯(>99.99%)铝箔,氧化电压为40V直流,两步氧化法制备了较大面积的多孔氧化铝膜(AAO);采用CuCl2溶液剥离铝基底;分别用扫描电镜和原子力显微镜对AAO膜的形貌特征和孔径参数进行表征.实验结果表明,CuCl2溶液剥离铝基底的方法简单安全、无毒、无污染;两步阳极氧化法制备的多孔氧化铝膜孔径均匀、周期一致、高度有序,孔道的直径约55nm,孔间距约100nm,呈六边形,而且孔道垂直膜表面;高分辨率原子力显微镜观察到了AAO膜的更细微结构,发现每一个孔均由6个完全相同的颗粒构成,这一结果就直接解释了AAO孔道呈六边形的原因,也为进一步探索AAO自组织形成结构的微观机理提供了直观的实验依据.
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| 关 键 词： | 阳极氧化铝 微观结构 自组织 原子力显微镜 |
Fabrication and self-organization fine-structure of anodic aluminum oxide films |
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