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| 不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性 | |
| 引用本文： | 徐富春,王水菊,林秀华,倪子绵,薛茹,汤丁亮,刘新.不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性[J].厦门大学学报(自然科学版),2002,41(3):306-310. |
| 作者姓名： | 徐富春 王水菊 林秀华 倪子绵 薛茹 汤丁亮 刘新 |
| 作者单位： | 1. 厦门大学分析测试中心 2. 厦门大学物理学系,福建,厦门,361005;中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室,上海,200083 3. 厦门大学物理学系,福建,厦门,361005 |
| 基金项目： | 福建省自然科学基金资助项目 (F0 0 10 0 1) |
| 摘 要： | 使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜，借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质。通过SEM、TEM观测表面形貌，微结构随温度变化；用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化。结果表明，在90℃下，表面TiN薄膜欠均匀，界面较清晰可辨；随着温度的升高，表面微结晶性能有所改善，在170℃时可见局部球聚隆起，出现粗细不同的类枝状结晶结构，此时TiN与Cr/Cu界面层增厚，形成较为稳定的Tr-Cr金属间化合物。TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结构、晶向，以及TiN与金属间的电荷转移和键合状况有关，适当的衬底温度（120℃）可以改变TiN形貌，改善其机械性能。 |
| 关 键 词： | 镀膜温度 表面特性 多弧离子镀 TiN Cr／Cu 接触界面 氮化钛薄膜 铬／铜合金 |
| 文章编号： | 0438-0479(2002)03-0306-05 |
| 修稿时间： | 2001年11月27 |
Interface Formation and Surface Characteristics of TiN Film in Contact to Cr/Cu by Multi-arc Ion Plating at Different Temperatures |
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| XU Fu chun ,WANG Shui ju ,LIN Xiu hua ,NI Zi mian XUE Ru ,TANG Ding liang ,LIU Xin.Interface Formation and Surface Characteristics of TiN Film in Contact to Cr/Cu by Multi-arc Ion Plating at Different Temperatures[J].Journal of Xiamen University(Natural Science),2002,41(3):306-310. | |
| Authors: | XU Fu chun WANG Shui ju LIN Xiu hua NI Zi mian XUE Ru TANG Ding liang LIU Xin |
| Institution: | XU Fu chun 1,WANG Shui ju 1,LIN Xiu hua 2,3,NI Zi mian 1 XUE Ru 1,TANG Ding liang 1,LIU Xin 2 |
| Abstract: | |
| Keywords: | multi arc ion plating TiN Cr/Cu surface characters contact interface |
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