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决定未来竞争的关键技术—微系统技术
引用本文:谢国章.决定未来竞争的关键技术—微系统技术[J].今日科技,1993(10):7-7.
作者姓名:谢国章
摘    要:

关 键 词:微电子器件  微机械器件  微系统
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